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LotTrack ÜbersichtNutzenArchitekturKomponenten
Modulare Systemarchitektur
Die LotTrack Systemarchitektur basiert auf vier Ebenen, wovon
jede aus unterschiedlichen Komponenten und Optionen besteht:
DisTag: mobiles Gerät, dient als Mensch-Maschine Schnitt-
stelle. Wird an Waferboxen oder SMIF Pods befestigt.
LotTrack Anlageninfrastruktur: automatische Identifikation
von Waferkassetten oder SMIF Pods, die auf Load Ports
platziert werden,
LotTrack Antenneninfrastruktur: Kommunikations- und
Lokalisierungsinfrastruktur, an Decke oder Wand im Rein-
raum befestigt und
LotTrack Control Suite: Software Schicht mit API zur IT
des Kunden.
Die folgenden Beispiele geben einen Überblick über die Vielfalt
von Kundenanforderungen, die mit dem LotTrack System
erfüllt werden können:
Assistenz und Zonen-Lokalisierung
Beispiel 150 mm Fab: DisTags sind an
allen Waferboxen befestigt. Über das gros-
se low power Display des DisTags erhalten
Mitarbeiter Assistenzinformationen. LotTrack
Zone Localizer bestimmen die Positionen
der Waferboxen innerhalb von Regalen. Die
kabellose Kommunikation zu DisTags und
Zone Localizern basiert auf der LotTrack
COM Infrastruktur.
LotTrack Assistenz und Zonen-Lokalisierung
AUTOMATISIERUNG, PLATZBASIERTE LOKALISIERUNG
Beispiel Open-Box Fab (200 mm):
LotTrack LoadPort Readers (LPR) werden
an allen Load Ports installiert. Die LPR dete-
ktieren Waferkassetten, die auf dem Load
Port platziert werden, indem sie (bereits vor-
handene) 1D/2D Barcodes lesen. Dies ermö-
glicht eine automatische Anlagenanmeldung
(Load&Go-Workflow). Platzbasierte Lokali-
sierung auf den Regalplätzen wird durch
LotPlacer übernommen. Die kabellose Kom-
munikation basiert auf einer (bestehenden)
WLAN-Infrastruktur.
LotTrack platzbasierte Lokalisierung und Automatisierung
ASSISTENZ, AUTOMATISIERUNG, GLOBALE LOKALISIERUNG
Beispiel SMIF Fab (200 mm): DisTags
sind an allen SMIF Pods befestigt. Über ihr
grosses low power Display erhalten die Mit-
arbeiter Assistenzinformationen. LotTrack
LoadPort Identifier (LPI) werden an jedem
Load Port installiert. Sobald ein SMIF Pod
auf einem LPI platziert wird, identifiziert
der DisTag den LPI in Echtzeit. Das ermö-
glicht einen Load&Go-Workflow mit auto-
matischen Anlagenstarts. Die kabellose
Kommunikation und die Lokalisierung von
DisTags und LPIs < 0.5m wird durch
LotTrack Antennenlinien gewährleistet.
LotTrack Assistenz, Automatisierung und globale Lokalisierung
Assistenz, Automatisierung, Platz-Lokalisierung
Beispiel SMIF Fab (200mm): Der DisTag
ist die zentrale Komponente, die die Funk-
tionen Mitarbeiterassistenz, automatisierte
Anlagenstarts und platzbasierte Lokalisier-
ung übernimmt. Position Identifier mit Bar-
codes sind an allen Positionen befestigt,
auf denen SMIF Pods detektiert werden
müssen (z.B. Load Ports, Stellplätze in
Regalen und auf Wagen).Sobald ein SMIF
Pod auf eine dieser Positionen platziert
wird, detektiert der DisTag die Position
Identifier und ermöglicht die platzbasierte
Lokalisierung und die automatische Anla-
genanmeldung. Basierend auf der LotTrack
COM Infrastruktur wird ein schlankes
LotTrack System realisiert.
LotTrack Assistenz, Automatisierung, Platz-Lokalisierung
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