LotTrack™ bietet Kontroll- und Steuerungsmöglichkeiten auf Basis folgender Systemfunktionen:
|  | Echtzeit-Lokalisierung der Wafer-Carrier in der Fab (Genauigkeit < 0,5 m),
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|  | Ein hochauflösendes, energiearmes Display an jedem Wafer-Carrier für Kommunikations- und Steuerungs- funktionen am "Point of Action". |
Das System hat seine hohe Verfügbarkeit in einer 24/7 Umgebung bewiesen. LotTrack ist modular aufgebaut, daher sind alle Software- und Hardwarekomponenten leicht zu implementieren und integrieren.
Resultat ist die vollständige Transparenz über die "Wafer in Arbeit". Dadurch kann die Produktivität (Durchsatz, Durchlaufzeit) gesteigert werden, ohne die operative Flexibilität einzuschränken.