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Systemfunktionen
LotTrack™ bietet Kontroll- und Steuerungsmöglichkeiten auf Basis folgender Systemfunktionen:
Echtzeit-Lokalisierung der Wafer-Carrier in der Fab
(Genauigkeit < 0,5 m),
Ein hochauflösendes, energiearmes Display an jedem Wafer-Carrier für Kommunikations- und Steuerungs-
funktionen am "Point of Action".
Das System hat seine hohe Verfügbarkeit in einer 24/7 Umgebung bewiesen. LotTrack ist modular aufgebaut, daher sind alle Software- und Hardwarekomponenten leicht zu implementieren und integrieren.
 
Resultat ist die vollständige Transparenz über die "Wafer in Arbeit". Dadurch kann die Produktivität (Durchsatz, Durchlaufzeit) gesteigert werden, ohne die operative Flexibilität einzuschränken.
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