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Smart Automation
LotTrack® ermöglicht eine aktive Steuerung der manuellen Logistikprozesse in Halbleiterfabriken. Damit unterstützt LotTrack den Weg zur Paperless- und Zero-Defects Fab. LotTrack basiert auf drei Kernfunktionen, die modular kombiniert werden können:
Mitarbeiter Assistenz: Der DisTag ist die intelligente Schnittstelle zwischen Mensch und Maschine. Er wird direkt an Waferboxen oder SMIF Pods befestigt. Das grosse low power Display bietet dem Mitarbeiter alle prozessrelevanten Informationen, um ihn in seinem Arbeitsprozess kontextbasiert zu unterstützen. Die integrierte LED unterstützt durch Pick-by-Light Suchvorgänge.
Maschinen Automatisierung: LotTrack ermöglicht automatische Maschinenstarts (Load&Go), indem eine Waferkassette oder SMIF Pod, der auf einem Load Port platziert wird, in Echtzeit identifiziert wird. Waferkassetten oder SMIF Pods können entweder über RFID, Infrarot oder 1D/2D Barcodes identifiziert werden.
Los Lokalisierung: LotTrack bietet unterschiedliche Auflösungsstufen um Waferboxen und Pods zu lokalisieren. Die höchste Auflösungsstufe (globale Lokalisierung) bietet eine Genauigkeit von < 0.5 m über die gesamte Fab. Andere Optionen bieten etwa die Lokalisierung an „smarten Positionen“, wie etwa in Regalen, Wagen oder auf Load Ports. Ebenso wird bereichsbasierte Lokalisierung, z.B. bei Türdurchgängen, unterstützt.
Referenzen
LotTrack ist in 10 europäischen und asiatischen Werken von Infineon Technologies, ST Microelectronics und Osram implementiert. Das System hat seit mehr als 12 Jahren im 24/7 Produktivbetrieb seine hohe Verfügbarkeit bewiesen. LotTrack ist mehrfach ausgezeichnet worden und in der Halbleiterindustrie weltweit einzigartig.
Download: Produktfolder LotTrack - (2 MB)
Nanochip: SmartMove - Changing the game - (253 KB)
RFID Journal: Production Tracked with RFID - (35 KB)
Leobner Cases: Prozesskontrolle mit RFID - (222 KB)
IEEE Pervasive Computing: LotTrack - (2 MB)
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