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Anlagenanmeldung, Assistenz und globale Lokalisierung (SMIF Fab)

Beispiel einer 200 mm SMIF Fab: Die LotTrack DisTags sind an allen SMIF Pods befestigt. LotTrack LoadPort Identifier sind an allen Load Ports der Anlagen installiert. Über das grosse Display des DisTags erhalten die Mitarbeiter situative Assistenzinformationen. Sobald ein SMIF Pod auf einem Load Port platziert wird, detektiert der DisTag den LoadPort Identifier und ermöglicht den automatischen Anlagenstart („Load&Go“ Workflow). Alle SMIF Pods können in der ganzen Fab mit einer Genauigkeit von bis zu 0.5m jederzeit lokalisiert werden.

Die drahtlose Kommunikation und Lokalisierung der DisTags erfolgt über die LotTrack Antenna Lines. Die LotTrack Control Suite prozessiert alle Daten und Informationen und integriert das LotTrack System in die IT Systeme des Kunden, wie z.B. MES und Dispatcher.

Für die dargestellte LotTrack-Lösung werden die nachfolgenden LotTrack Komponenten eingesetzt.

LotTrack Komponenten

LotTrack DisTag COM

Der DisTag COM ist die zentrale Komponente des LotTrack Systems und die Basis für Funktionen wie die Mitarbeiterassistenz, automatisierte Anlagenstarts sowie die globale und platzbasierte Lokalisierung. Als intelligente Mensch-Maschine Schnittstelle wird er an allen Waferboxen oder SMIF Pods befestigt und integriert mehrere innovative Technologien. Sein kontrastreiches low-power Display und die Pick-by-Light Funktionalität ermöglichen Mitarbeiterassistenz. Ultraschall, Funktechnologien, Bewegungssensoren und optische Sensoren ermöglichen die Anlagenautomatisierung für Load&Go-Workflows, die Loslokalisierung bis zu < 0.5 m sowie eine Platzerkennung. Der DisTag COM ist batteriebetrieben und kommuniziert drahtlos mit der LotTrack Antenna Infrastructure.

  • Automatischer Anlagestart

  • Mitarbeiterassistenz

  • Loslokalisierung

  • Drahtlose Kommunikation

LotTrack DisTag auf einem SMIF Pod

Der DisTag lässt sich durch einen speziellen Adapter an der Rückseite mit den bestehenden Haltersystemen für Asyst Tags oder TelTags auf SMIF Pods verwenden (easy Retrofit). Für optimale Mitarbeiterassistenz (Neigung des Displays) und Vermeidung von Kollisionen bei der Nutzung in Stocker Systemen, wird der Adapter gemeinsam mit dem Kunden optimal ausgestaltet. Das einfache Snap-in-Prinzip für die Befestigung und das Abnehmen des DisTags erleichtert die Nutzung.

  • Einfacher Retrofit

LotTrack LoadPort Identifier für SMIF Fabs

In SMIF-Fabs wird der LoadPort Identifier (LPI) an allen Load Ports einer Anlage befestigt. Die DisTags werden an SMIF Pods befestigt. Wenn ein SMIF Pod auf einem Load Port platziert wird, erfolgt eine Echtzeit-Authentifizierung der Anlage, indem der DisTag den LoadPort Identifier erkennt. Dies ermöglicht die automatische Anlagenanmeldung und damit den Load&Go Workflow. Dabei kann jede Art von Anlagen integriert werden, auch alte Anlagentypen.

  • Echtzeit Authentifizierung

  • Load & Go Workflow

  • Einfache Implementierung (Retrofit)

LotTrack Antenna Line

Die LotTrack Antenna Line kommuniziert drahtlos mit den LotTrack Geräten in der Fab, wie beispielsweise mit dem DisTag, LoadPort Identifier oder LoadPort Reader. Die Hauptfunktion der Antenna Line ist, neben der Kommunikation über RFID, die globale Lokalisierung von Waferboxen und Pods mit einer Genauigkeit von bis zu 0.5 m. Die LotTrack Antenna Line besteht aus einzelnen Antennenmodulen, die mit dem bewährten Deckenmontagesystem der Intellion einfach und schnell an der Reinraumdecke befestigt werden. Dies reduziert die Dauer der Implementierung in der laufenden Fab auf ein Minimum.

  • Drahtlose Kommunikation

  • Loslokalisierung

  • Einfach zu installieren (Retrofit)

LotTrack Control Suite

Als Rückgrat der LotTrack Lösung verknüpft die LotTrack Control Suite alle fertigungsrelevanten Prozesse mit MES, Automatisierung, Dispatching oder anderen IT-Clients. Über ein umfassendes API können Softwaremodule in die LotTrack Control Suite integriert werden. So kann auf die speziellen Bedürfnisse jeder Fab eingegangen werden.

Dr. Stephan Eisen | Managing Partner

Ich freue mich über Ihren Anruf.

stephan.eisen@intellion.com

+41-71-280 81 81

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