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Anlagenanmeldung, Hybride Automatisierung, Assistenz, globale Lokalisierung (8″ Fab)

Beispiel 200 mm Fab: Die LotTrack DisTags sind an allen 8″ Waferboxen befestigt. LotTrack LoadPort Reader und LotTrack ToolDisplays werden an allen Loadports der Anlagen implementiert. Zusätzlich werden SmartPlacer auf den flexiblen Transportrobotern installiert, was eine hybride Automatisierung an der Schnittstelle zwischen Mensch und Roboter ermöglicht.

Über das grosse Display des DisTags und das ToolDisplay an den Anlagen erhalten die Mitarbeiter situative Assistenzinformationen. Wird ein Wafer Carrier auf dem Loadport einer Anlage platziert, detektiert der LoadPort Reader den Wafer Carrier, indem dessen 1D/2D Barcode gelesen wird. Dies ermöglicht einen automatische Anlagenstart (Load&Go Workflow). Sobald eine Box auf einem SmartPlacer platziert wird, erkennt der Roboter den Wafer Carrier in der Waferbox. Alle Waferboxen können in der ganzen Fab mit einer Genauigkeit von bis zu 0.5 m jederzeit lokalisiert werden.

Die drahtlose Kommunikation mit allen LotTrack Geräten, wie dem DisTag, LoadPort Reader und SmartPlacer sowie die Lokalisierung der DisTags, erfolgt über die LotTrack Antenna Lines. Die LotTrack Control Suite prozessiert alle Daten und Informationen und integriert das LotTrack System in die IT-Systeme des Kunden, wie z. B. MES und Dispatching Client.

Für die dargestellte LotTrack-Lösung werden die nachfolgenden LotTrack Komponenten eingesetzt:

LotTrack Komponenten

LotTrack DisTag COM

Der DisTag COM ist die zentrale Komponente des LotTrack Systems und die Basis für Funktionen wie die Mitarbeiterassistenz, automatisierte Anlagenstarts sowie die globale und platzbasierte Lokalisierung. Als intelligente Mensch-Maschine Schnittstelle wird er an allen Waferboxen oder SMIF Pods befestigt und integriert mehrere innovative Technologien. Sein kontrastreiches low-power Display und die Pick-by-Light Funktionalität ermöglichen Mitarbeiterassistenz. Ultraschall, Funktechnologien, Bewegungssensoren und optische Sensoren ermöglichen die Anlagenautomatisierung für Load&Go-Workflows, die Loslokalisierung bis zu < 0.5 m sowie eine Platzerkennung. Der DisTag COM ist batteriebetrieben und kommuniziert drahtlos mit der LotTrack Antenna Infrastructure.

Automatischer Anlagestart
Mitarbeiterassistenz
Loslokalisierung
Drahtlose Kommunikation

LotTrack DisTag auf einer 8“ Wafer Box

Spezielle Haltersysteme ermöglichen eine optimale Position des DisTags auf der 8” Waferbox. Dies erlaubt eine optimale Mitarbeiterassistenz (Neigung des Displays und der LED). Ausserdem werden durch einen geringen Überhang des DisTags auf der Waferbox Kollisionen bei Einlagerprozessen in Stockersystemen vermieden.

Einfacher Retrofit

LotTrack LoadPort Reader

Der LoadPort Reader ermöglicht Load & Go-Workflows für Open-Cassette Fabs. Die Loadports aller Anlagen der Fab werden mit LoadPort Readern ausgestattet. Alle Wafercarrier erhalten eine LotTrack ID Card mit 1D/2D Barcode oder es werden die bestehende Barcodes auf den Carriern genutzt. Wenn ein Carrier auf einem Loadport platziert wird, erfolgt eine Echtzeit-Authentifizierung mittels Barcodelesung durch den LoadPort Reader. Dies ermöglicht die automatische Anlagenanmeldung.

Echtzeit Authentifizierung
Automatische Anlagenanmeldung
Load & Go Workflow

LotTrack ToolDisplay

Das grosse LotTrack ToolDisplay wird an Anlagen installiert und zeigt dem Operator detaillierte Informationen zu jedem Loadport einer Anlage an. Die Informationen für das ToolDisplay werden durch die IT Automationssysteme des Kunden bereitgestellt. Das ToolDisplay wird drahtlos über die LotTrack Antenna Infrastructure angesteuert und kann einfach nachgerüstet werden.

Mitarbeiterassistenz
Drahtlose Kommunikation
Einfache Nachrüstung bestehender Anlagen

LotTrack SmartPlacer

Wird eine Waferbox auf einem LotTrack SmartPlacer platziert, prüft das Gerät die Integrität des Loses, indem die LotTrack ID Cards verglichen werden: Ist der richtige Wafercarrier in der richtigen Waferbox? Zudem wird der SmartPlacer für die hybride Automatisierung eingesetzt, indem die auf einem Transportroboter platzierten Lose identifiziert werden können. Alle Aktionen werden drahtlos an das zentrale LotTrack System publiziert.

Platzlokalisierung
Echtzeit Authentifizierung
Drahtlose Kommunikation
Mitarbeiterassistenz

LotTrack ID Card

Die LotTrack ID Card ist eine mit RF und 1D Barcode ausgestattete Smartcard, die auf Wafercarriern, Waferboxen und Transportrobotern für die eindeutige und sichere Identifikation genutzt wird.

Eindeutige Identifikation

LotTrack Antenna Line

Die LotTrack Antenna Line kommuniziert drahtlos mit den LotTrack Geräten in der Fab, wie beispielsweise mit dem DisTag, LoadPort Identifier oder LoadPort Reader. Die Hauptfunktion der Antenna Line ist, neben der Kommunikation über RFID, die globale Lokalisierung von Waferboxen und Pods mit einer Genauigkeit von bis zu 0.5 m. Die LotTrack Antenna Line besteht aus einzelnen Antennenmodulen, die mit dem bewährten Deckenmontagesystem der Intellion einfach und schnell an der Reinraumdecke befestigt werden. Dies reduziert die Dauer der Implementierung in der laufenden Fab auf ein Minimum.

Drahtlose Kommunikation
Loslokalisierung
Einfach zu installieren (Retrofit)

LotTrack Control Suite

Als Rückgrat der LotTrack Lösung verknüpft die LotTrack Control Suite alle fertigungsrelevanten Prozesse mit MES, Automatisierung, Dispatching oder anderen IT-Clients. Über ein umfassendes API können Softwaremodule in die LotTrack Control Suite integriert werden. So kann auf die speziellen Bedürfnisse jeder Fab eingegangen werden.