Der DisTag COM ist die zentrale Komponente des LotTrack Systems und die Basis für Funktionen wie die Mitarbeiterassistenz, automatisierte Anlagenstarts sowie die globale und platzbasierte Lokalisierung. Als intelligente Mensch-Maschine Schnittstelle wird er an allen Waferboxen oder SMIF Pods befestigt und integriert mehrere innovative Technologien. Sein kontrastreiches low-power Display und die Pick-by-Light Funktionalität ermöglichen Mitarbeiterassistenz. Ultraschall, Funktechnologien, Bewegungssensoren und optische Sensoren ermöglichen die Anlagenautomatisierung für Load&Go-Workflows, die Loslokalisierung bis zu < 0.5 m sowie eine Platzerkennung. Der DisTag COM ist batteriebetrieben und kommuniziert drahtlos mit der LotTrack Antenna Infrastructure.

Spezielle Haltersysteme ermöglichen eine optimale Position des DisTags auf der 8” Waferbox. Dies erlaubt eine optimale Mitarbeiterassistenz (Neigung des Displays und der LED). Ausserdem werden durch einen geringen Überhang des DisTags auf der Waferbox Kollisionen bei Einlagerprozessen in Stockersystemen vermieden.

Der DisTag LOC ermöglicht die Lokalisierung von Reticles und unterstützt Suchfunktionen durch eine integrierte LED. Aufgrund seiner kompakten Bauform kann der DisTag LOC sehr einfach auf dem Reticle montiert werden.

Die LotTrack Antenna Line kommuniziert drahtlos mit den LotTrack Geräten in der Fab, wie beispielsweise mit dem DisTag, LoadPort Identifier oder LoadPort Reader. Die Hauptfunktion der Antenna Line ist, neben der Kommunikation über RFID, die globale Lokalisierung von Waferboxen und Pods mit einer Genauigkeit von bis zu 0.5 m. Die LotTrack Antenna Line besteht aus einzelnen Antennenmodulen, die mit dem bewährten Deckenmontagesystem der Intellion einfach und schnell an der Reinraumdecke befestigt werden. Dies reduziert die Dauer der Implementierung in der laufenden Fab auf ein Minimum.

Als Rückgrat der LotTrack Lösung verknüpft die LotTrack Control Suite alle fertigungsrelevanten Prozesse mit MES, Automatisierung, Dispatching oder anderen IT-Clients. Über ein umfassendes API können Softwaremodule in die LotTrack Control Suite integriert werden. So kann auf die speziellen Bedürfnisse jeder Fab eingegangen werden.