Die LotTrack ID Card ist eine mit RF und 1D Barcode ausgestattete Smartcard, die auf Wafercarriern, Waferboxen und Transportrobotern für die eindeutige und sichere Identifikation genutzt wird.

Wird eine Waferbox auf einem LotTrack SmartPlacer platziert, prüft das Gerät die Integrität des Loses, indem die LotTrack ID Cards verglichen werden: Ist der richtige Wafercarrier in der richtigen Waferbox? Zudem wird der SmartPlacer für die hybride Automatisierung eingesetzt, indem die auf einem Transportroboter platzierten Lose identifiziert werden können. Alle Aktionen werden drahtlos an das zentrale LotTrack System publiziert.

Das grosse LotTrack ToolDisplay wird an Anlagen installiert und zeigt dem Operator detaillierte Informationen zu jedem Loadport einer Anlage an. Die Informationen für das ToolDisplay werden durch die IT Automationssysteme des Kunden bereitgestellt. Das ToolDisplay wird drahtlos über die LotTrack Antenna Infrastructure angesteuert und kann einfach nachgerüstet werden.

Der LoadPort Reader ermöglicht Load & Go-Workflows für Open-Cassette Fabs. Die Loadports aller Anlagen der Fab werden mit LoadPort Readern ausgestattet. Alle Wafercarrier erhalten eine LotTrack ID Card mit 1D/2D Barcode oder es werden die bestehende Barcodes auf den Carriern genutzt. Wenn ein Carrier auf einem Loadport platziert wird, erfolgt eine Echtzeit-Authentifizierung mittels Barcodelesung durch den LoadPort Reader. Dies ermöglicht die automatische Anlagenanmeldung.

LotTrack Position Identifier, die mit einem 1D/2D Barcode versehen sind, werden an “Smart Positions” wie etwa SMIF Load Ports, Regalplätzen, Arbeitsplätzen oder Transportwagen befestigt. Wird ein SMIF Pod mit dem DisTag auf einer Smart Position abgestellt, erkennt der DisTag durch das eingebaute Kameramodul den Barcode auf dem LotTrack Position Identifier. Dadurch wird eine genaue Platz- bzw. Positionserkennung in Regalen, auf Wagen oder am Load Port möglich.  Dies ermöglicht den automatischen Anlagenstart.

In SMIF-Fabs wird der LoadPort Identifier (LPI) an allen Load Ports einer Anlage befestigt. Die DisTags werden an SMIF Pods befestigt. Wenn ein SMIF Pod auf einem Load Port platziert wird, erfolgt eine Echtzeit-Authentifizierung der Anlage, indem der DisTag den LoadPort Identifier erkennt. Dies ermöglicht die automatische Anlagenanmeldung und damit den Load&Go Workflow. Dabei kann jede Art von Anlagen integriert werden, auch alte Anlagentypen.

Der DisTag lässt sich durch speziellen Adaptersysteme an der Rückseite auch auf 300mm FOUPs verwenden (einfacher "Retrofit").

Der DisTag lässt sich durch einen speziellen Adapter an der Rückseite mit den bestehenden Haltersystemen für Asyst Tags oder TelTags auf SMIF Pods verwenden (easy Retrofit). Für optimale Mitarbeiterassistenz (Neigung des Displays) und Vermeidung von Kollisionen bei der Nutzung in Stocker Systemen, wird der Adapter gemeinsam mit dem Kunden optimal ausgestaltet. Das einfache Snap-in-Prinzip für die Befestigung und das Abnehmen des DisTags erleichtert die Nutzung.

Spezielle Haltersysteme ermöglichen eine optimale Position des DisTags auf der 8” Waferbox. Dies erlaubt eine optimale Mitarbeiterassistenz (Neigung des Displays und der LED). Ausserdem werden durch einen geringen Überhang des DisTags auf der Waferbox Kollisionen bei Einlagerprozessen in Stockersystemen vermieden.

Für die optimale Mitarbeiterassistenz muss der LotTrack DisTag (grosses Display, LED) im optimalen Sichtwinkel zum Operator auf der 6” Waferbox befestigt werden. Dies wird durch kundenspezifische Befestigungssysteme realisiert, z. B. durch Snap-in-Halterungen zum einfachen Anbringen und Abnehmen des DisTags von der Waferbox.

Aufgrund der kompakte Bauform des DisTag COM kann er auch an einer 4“ Waferbox befestigt werden. Neben der Lokalisierung des Loses ermöglicht der DisTag damit auch die Mitarbeiterassistenz über das grosse Display und die LED.

Der DisTag LOC ermöglicht die Lokalisierung von Reticles und unterstützt Suchfunktionen durch eine integrierte LED. Aufgrund seiner kompakten Bauform kann der DisTag LOC sehr einfach auf dem Reticle montiert werden.

Der DisTag COM ist die zentrale Komponente des LotTrack Systems und die Basis für Funktionen wie die Mitarbeiterassistenz, automatisierte Anlagenstarts sowie die globale und platzbasierte Lokalisierung. Als intelligente Mensch-Maschine Schnittstelle wird er an allen Waferboxen oder SMIF Pods befestigt und integriert mehrere innovative Technologien. Sein kontrastreiches low-power Display und die Pick-by-Light Funktionalität ermöglichen Mitarbeiterassistenz. Ultraschall, Funktechnologien, Bewegungssensoren und optische Sensoren ermöglichen die Anlagenautomatisierung für Load&Go-Workflows, die Loslokalisierung bis zu < 0.5 m sowie eine Platzerkennung. Der DisTag COM ist batteriebetrieben und kommuniziert drahtlos mit der LotTrack Antenna Infrastructure.